臺積電的競業限制一般是兩年。

要聯繫蔣尚義有諸多渠道,如果是中芯想接觸,通過TI的老同事最爲穩妥。

若想讓他來大陸談,找一個學術活動的名義直接通過臺灣半導體產業協會去邀請最爲妥當。

倆人一路聊着挖人的路徑,到了12英寸廠區——中芯65nm、甚至是45nm研發的核心陣地,也是張汝京多年心血的重中之重。

陳學兵也是剛知道,中芯可能即將擁有一些45nm的技術。

中芯目前正在跟IBM談45nm Bulk CMOS的授權,IBM通過一次性授權費+按晶圓數持續提成的方式成熟方案,讓這座12英寸廠能夠生產一些授權範圍內的芯片種類。

這是個包含工藝技術包+配套IP與設計支持的完整授權,有針對45nm邏輯器件的曝光條件,光刻膠選型、顯影/蝕刻匹配、套刻精度(Overlay)控制、缺陷管控等流程,能補齊中芯先進邏輯的工藝短板。

這條路線能讓中芯快速實現45nm可量產,作爲一個技術跳板,完成Know-how。

但是,完全不自主。會長期受限於授權條款,僅能做低功耗邏輯芯片,無法承接高端CPU/GPU、射頻、存儲、HPC等高毛利訂單。

相當於IBM說:“我知道你們有個高端廠子,但一時半會生產不了最優的製程,不如我給你們一套方案參與生產,但是利潤得分我們一半,而且你們也不能搶我們的高端生意”。

陳學兵聽到這裏眉頭皺了皺,發現一個關鍵的邏輯問題。

“你們能通過IBM的授權生產45nm?沒有多重曝光技術,你們也能生產45nm?!”

此時正到研發樓前。

張汝京神祕一笑,抬手道:“這是機密,進去說。”

陳總迫不及待。

衆人按流程換上防塵服,戴上口罩和發帽,經過風淋室淨化後,才踏入潔淨度達百級的研發車間。

一進門,巨大的晶圓傳送設備正平穩運轉,淡藍色的光刻燈在密閉腔體內閃爍,穿着同款防塵服的工程師們低着頭,專注地操作着設備,偶爾低聲交流幾句技術參數,整個車間只剩下設備運行的輕微嗡鳴。

張汝京走在最前面,讓工作人員把領導們帶去參觀光刻機,而後把陳學兵拉到一邊,手指向不遠處一臺正在調試的設備旁邊,那裏有一片空置區域,聲音透過口罩傳來:

“這是我們給ASML引進的193浸沒式光刻機預留的區域。”

這話一出,陳總有點震驚了。

“從什麼渠道搞來的?瓦森納協定對這類先進半導體設備有出口限制,中芯可以不遵守?”

張汝京小心地看了看正在參觀機器的李市長他們,而後又看向跟着陳學兵的辛夢真。

“這是辛總,以後也是中芯的戰友,你直說吧。”陳學兵道。

張汝京這才嘆了口氣,語氣裏滿是無奈與不易:“哪能不遵守?這臺設備能引進來,全靠中芯的國際股東從中斡旋,還有IBM的合同,才勉強通過荷蘭方面的出口審批,走的是正規商業採購渠道,不過還得等一項美國特殊許

可批下來,才能啓運。”

他頓了頓,又補充:“瓦森納協定的限制不是絕對的,它更像是一種‘自願出口管制”,荷蘭方面會根據設備用途、採購方背景綜合評估,我們當時承諾這臺設備僅用於成熟製程研發,再加上外資股東背書,才僥倖獲批。”

此時,陳學兵和辛夢真對了個眼神。

“美國特殊許可...不會是VEU吧。”辛夢真第一次開口,問道。

“對,你們知道?”張汝京有些驚奇。

中芯申請這項許可是最近的事情,目前還在準備材料。

此時,倆人口罩下的臉都有了笑容。

“193...你們拿到的是XT1250i還是XT1900?”辛夢真快速追問。

193i,不是ASML一家的專屬型號名,而是行業通用技術類別稱呼,是193nmArF浸沒式光刻機的總稱。

“i”是immersion,浸沒式。

浸沒式是在投影鏡頭和晶圓之間填充高純度去離子水,利用水折射率n=1.44,代替空氣n=1,從而提高有效數值孔徑NA,提升分辨率。

XT:1250是2004ASML的初代193,NA值0.85,是65nm節點的工藝驗證和試產機,分辨率、產能、套刻精度都不夠45nm量產。

而XT:1900i是今年的高NA升級款,NA值約等於1.35,是45nm量產級主力機。

NA值是光刻機鏡頭的“眼力值”,數值越大,鏡頭越厲害,能刻的線就越細。

當然,還要雙工件臺、光源和環境穩定性的配合。

XT:1900i不僅更新了鏡頭,還採用了新一代雙臺,替換了高級照明等。

“是XT1900i。”張汝京給出了肯定的答案,而後打量着辛夢真問道:“辛總...不是陳總的祕書?”

“她是香港DCT光刻...不,DCT醫療的董事長,現在正收購一家香港眼科醫療上市公司,準備研究光學物鏡、CT器械,也在申請美國VEU。”

陳學兵有意說漏了嘴,張汝京一下睜大了眼睛。

這事,不需要全說明白,懂的都懂。

“哦……”張汝京恍然,想了半天,深深點頭:“是條路子,陳總,之前我一直以爲你是財務型投資人,沒想到你想得這麼深...誤會了。”

陳學兵有口罩遮掩,放任自己露出了一絲自得的笑。

VEU,這一步果然沒錯。

ASML居然會把新型浸沒式光刻機賣給中芯國際。

怪不得中芯國際一直能跟在先進世代的屁股後面。

想想也是,ASML現在可以沒有EUV的壟斷能力,雖然是比日本廠商先進,但沒有太大的議價權。

他們也要掙錢完成全面超越。

話說前世中芯國際還下單買了ASML的EUV,合約都簽好了,是因爲美國的持續施壓才取消了交易。

媽的,要是這麼想想,如果早點下單...搞好國際關係未嘗不是一條路啊,自己瞎研究什麼?

但是轉念之間,陳學兵又嘆了口氣。

連他自己都這麼想,也怪不得大家都相信所謂的“全球分工”了。

他回想着前世的制裁,腦子裏趕緊摒除了這些雜念。

不僅是他,也不止是現在的人。

前世剛制裁的時候人人緊張,可一聽到中芯國際能通過多重曝光達到7nm,甚至5nm的極限,大家又安逸下來了。

「原來咱們還能走彎道啊。」

「沒關係,咱們有就行,卡不了咱們脖子。」

普通人就要安逸,只要有個理由,就能安逸下來,就能硬氣起來。

可是他已經不是普通人了,還能這麼想嗎?

他能用贏學思維嗎?

恐怕得時刻思敗纔對。

多重曝光和先進封裝能做出來7nm,5nm,但只能做到物理上存在,做不到商業存活,技術迭代、長遠自主。

堅持研發新型光刻機,爲的是守住芯片產業的成本底線、性能底線、技術主權底線。

多重曝光只是續命術,不是進化論。

走這條路,他甚至已經不能從商業上思考問題,而是站在科學倫理和工業效率的角度,思考長期產業競爭,這是道必須堅持到底的戰略必答題。

好在,他是個焦慮的人,從重生的第一天,他就在焦慮,安逸的想法並不能纏繞他太久。

重活一世,是爲自己的幸福奮鬥,還是爲了民族進步而擔當,這個問題他也早就想好了。

“陳總,你剛纔說的'多重曝光才能製造45nm’這句話,其實不完全對,IBM有OPC/RET光學增強技術加上新型193,能通過單次曝光即可完成關鍵層製程,實際上各家的晶圓廠都有一定的保密技術去完成45nm的量產。”

張汝京忽然開口,說了一些行業內情。

“多重曝光也不是芯片製程升級的唯一方向,甚至不是量產可行的主流方向。”

“主流產業界主要致力於光刻機NA的提升,分辨率增強技術(RET)的深度優化,新材料和器件結構革新,工藝平臺整合。”

“多重曝光目前還在實驗室階段,其實只有少量試流片,臺積電、英特爾都在用原有成熟的技術生產,多重曝光專利其實也不是臺積電壟斷,它分佈在IBM、ASML、IMEC、臺積電、佳能等多家手中,中芯如果要做,也可以

IBM聯盟路線,不需要臺積電授權,但需要很多研發經費。”

“不過有件事你說得對,多重曝光有可能成爲32nm和28nm節點的重要技術,我們應該重視它,IBM的合作限製得太緊,臺積電是我們最有可能獲得相關技術靈活授權、自主升級的路,我們應該努力爭取。”

“我們中芯現在還在爲65nm良率達到量產邊界而爬坡,近兩年能完成這個目標就是大幸,說實話,之前我根本沒有想過有人會來跟我討論下兩個節點的問題。”

行內人到底是行內人,掌握的信息更加準確和具體,一開口,說得陳總老臉一紅。

居然能在無多重曝光的情況下做出45nm,他在辦公室似乎表現得有點過於自信了。

也由此想到,他請教的那些辛夢真從日本請來的專家對先進晶圓廠的生產情況可能不太瞭解,或者說,他們由於近一兩年沒有處於最先進的生產系統裏,掌握的信息已經過時了。

媽的,半導體這個行業信息太封閉了,要掌握一手情況,光在門外打聽還是不行,還得先進圈。

不過,中芯眼界沒掉隊,這是好消息。

多重曝光路線有選擇,也是好消息。

引進193i,是重大好消息。

陳學兵雖然內心狂喜,但面上卻眉頭深皺:“中芯的發展落後,不僅在製程方面,還在於品類的偏科,你們以往只生產DRAM芯片,不做邏輯芯片,站在先進製程突破和技術能力沉澱、打破海外封鎖上,DRAM帶動效果很

弱,不能光靠中低端來填產線啊....中芯以後要邁上高端生產路線。

DRAM存儲對工藝集成和器件設計的要求低,它有一套模板,代工需求大,生產也簡單,過去的中芯就靠這個存活。

這樣的芯片卡不了脖子的,能買。

而CPU和GPU就不好說了。

從目前來看,CPU纔是先進製程的終極應用場景,工藝要求複雜且高,能鍛鍊全工藝平臺能力。

先進製程也往往供應着高端的邏輯芯片,不做CPU,GPU,哪有動力往先進製程研發?

此時,張汝京卻笑了一聲。

“過去我們哪有條件做邏輯芯片,我們工藝節點跟不上,技術積累也不夠,做出來的CPU沒人要啊,我們只能喫到一些DRAM外包訂單,邏輯芯片我們也做,都是低端家電MCU,簡單的控制芯片之類。

“不過現在,已經好多了,這還要多虧了展訊!

“最近一年,展訊給了我們不少專用邏輯芯片(DSP)訂單,現在又加入了CPU在內的SOC整合,我們在邏輯芯片製造上的突破很大,也在力求轉型,正打算把深硅蝕刻機、大容量薄膜沉積設備等DRAM專用設備替換量降

低,增加邏輯芯片所需的原子層刻蝕機、高精度離子注入機、高均勻性CMP設備等等。

“我們眼前這條線,就打算打造爲邏輯芯片研發線,單獨配置高端設備,避免與DRAM產線混用導致的工藝污染和參數干擾,只要一到兩年,月產能應該能達到2000片!”

張汝京說的2000片,是12英寸晶圓。

一片晶圓能切出幾百顆CPU的,具體幾百,得看芯片大小,工藝和良率。

那就是數十萬顆CPU芯片了。

“65nm?”陳學兵問道。

“嗯,再往下...確實很難,如果研發多重曝光技術,完成工業化路徑,或許能幫我們再進一步。”

張汝京說完,嘆道:“我覺得你的思路沒問題,所以如果你真的能跟臺積電談出合適的條件,我願意讓位。”

他的態度轉變,不僅來自於陳學兵今天的實力展示,還有一路上聊過來,發現了陳學兵身上那種不顧一切往高端衝的決心。

這個年輕人有資源也有衝勁,說不定真的能帶給中芯新的希望。

陳學兵此時心裏也舒適了。

“感謝張打下了這些地基,感謝。”

他伸手與張汝京相握,深情地晃了晃。

“從現在開始,中芯的研發部要All in邏輯芯片,訂單和利潤率我來給你保證,DRAM產能,要逐步下放給其他國內廠家。”

"..."

張汝京遲疑,感覺這位陳總還是缺一個邱慈雲。

“你放心。”陳學兵笑道:“邏輯芯片不是隻有CPU,我們做邏輯芯片也不是隻爲了做邏輯芯片,是鍛鍊能力,高端產能你儘管發展好了,錢我來給。”

“額...可是193我們只有一臺啊,其他廠家都在ASML排隊,我們暫時也拿不到更多了,不能靠一臺光刻機養一箇中芯吧。”

“……”陳學兵憋了口氣:“一臺193多少錢?”

“3300萬美元,這是裸機價,加上掩膜,光刻膠,工藝包,安裝調試,備件,培訓等,大概還要1000萬美元才能投入生產。”

“再想想辦法,加價,買到第二臺,三臺最好。”

“陳總,你這是...不考慮成本啊,光刻機最多兩三年就要升級換代一次,同型號微迭代一年一次,怎麼禁得住這麼買?”

“想辦法跟ASML籤長期意向,拿到優先產能,錢的事我給你搞定,第一筆資金國慶之內就會到賬。”

陳總悠悠說道:“我也就有點錢了,儘管花吧。’

參觀出來,送走領導。

陳學兵思緒複雜。

情況遠比他想的更好,但是仔細想想,要不要掐斷中國半導體的命脈,似乎也只是老美的一句話而已。

利益平衡和視覺麻痹是接下來做事的關鍵。

在這個層面之下,又要爭分奪秒,瘋狂衝刺。

“這兩天你就可以回去了,做你該做的事情。”陳總對辛總說道。

雖然對有女朋友的日子有點依依不捨,但DCT那邊同樣要把握機會多做事情。

辛夢真卻搖了搖頭:“臺積電官司的事情我已經瞭解了,我來幫你接洽美國團隊吧,還有挖梁孟松的事情,你讓我參與一下前期工作,等任穎回來,我來跟她交接。”

陳學兵笑了起來:“也行,那你想待幾天就待幾天。”

這些工作,對DCT來說亦是以後將要面對的事情。

他這段時間帶着夢真接觸這些,就是讓她有一個明晰的思路,方便回去組建團隊。

看來她已經悟到了。

辛夢真見人都走了,主動挽住陳學兵的胳膊。

“下午我們去老正興打包些菜回家喫吧?福州路有一家,正好離公司不遠。”

這句話把陳學兵的思緒拉回人間煙火,不禁笑道:“心情這麼好,怎麼,來一趟中芯,有什麼想法了?”

辛夢真脣角微微揚起:“就是覺得...這麼長時間都在孤軍奮戰,忽然看到前面有領頭羊在跑,挺好的,感覺看得到希望了。”

陳總聞言暢然而笑。

“咱們也得好好幹,讓後面的人看得到我們。”